
簡要描述:Accurion EP4 橢偏顯微鏡用途:多層薄膜的厚度和光學常數(shù)(n、k值)測量
產(chǎn)品分類
Product Category相關(guān)文章
Related Articles詳細介紹
| 品牌 | Park | 價格區(qū)間 | 80萬-100萬 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,制藥/生物制藥,電氣,綜合 |
Accurion EP4 橢偏顯微鏡
用途:多層薄膜的厚度和光學常數(shù)(n、k值)測量
橫向分辨率(x/y方向)小至1微米,薄膜厚度測量精度0.1納米。
選區(qū)測量功能:實現(xiàn)微結(jié)構(gòu)試樣和微小試樣的選區(qū)橢偏測量
全顯微鏡視場直接成像,取代傳統(tǒng)單點測量
光斑切割技術(shù),真正實現(xiàn)超薄透明;基底上薄膜的無背底反射橢偏測量
多種技術(shù)聯(lián)用,如:原子力顯微鏡(AFM),
表面等離子共振(SPR),反射光譜(RefSpec),
拉曼光譜儀(RamanSpec),石英晶體微天平(QCM),
白光干涉儀(WLI)和LB槽/膜天平等
Accurion EP4 橢偏顯微鏡

Accurion EP4 橢偏顯微鏡
用途:多層薄膜的厚度和光學常數(shù)(n、k值)測量
橫向分辨率(x/y方向)小至1微米,薄膜厚度測量精度0.1納米。
選區(qū)測量功能:實現(xiàn)微結(jié)構(gòu)試樣和微小試樣的選區(qū)橢偏測量
全顯微鏡視場直接成像,取代傳統(tǒng)單點測量
光斑切割技術(shù),真正實現(xiàn)超薄透明;基底上薄膜的無背底反射橢偏測量
多種技術(shù)聯(lián)用,如:原子力顯微鏡(AFM),
表面等離子共振(SPR),反射光譜(RefSpec),
拉曼光譜儀(RamanSpec),石英晶體微天平(QCM),
白光干涉儀(WLI)和LB槽/膜天平等
產(chǎn)品咨詢
掃一掃,關(guān)注微信
電話
微信掃一掃